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中微半导体5纳米刻蚀机通过台积电验证

2018-12-18 15:37分享至
近期中微半导体自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验证,性能优良,将用于全球首条5纳米制程生产线。5纳米相当于头发丝直径的二万分之一,是集成电路制程工艺最小线宽。台积电宣布2019年将进行5纳米制程试产、预计2020年量产。(中国证券报)原文链接

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2018-12-18

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