潮科技 | Nanusens众筹100万欧元，利用标准CMOS工艺制造纳米传感器

编者按：本文是36氪“边界计划”的转载内容，来自微信公众号“MEMS”（ID：MEMSensor），作者麦姆斯咨询殷飞；36氪经授权转载。

据麦姆斯咨询报道，纳米技术的初创企业Nanusens，日前将其总部从西班牙巴塞罗那迁至英国，并通过Crowdcube（英国最大股权众筹平台）从786人处众筹超过100万欧元（941,950英镑）资金。此次众筹是Nanusens的pre-A轮融资，用于帮助公司加大研发投资和扩大员工规模，加速产品推广。

Nanusens的技术简化了产品生产。到目前为止，传感器都无法与标准CMOS生产线兼容，需要使用不同的工艺来生产MEMS产品。Nanousens的多项未申请的专利技术使其能够采用与其他芯片通用的标准CMOS工艺来制造纳米传感器。

这种创新技术大大降低了传感器的尺寸和成本，并将产品上市时间缩短了85%。Nanusens相信，其颠覆性技术将彻底改变传感器市场，满足智能手机、可穿戴技术和物联网设备对低成本传感器日益增长的需求，这已经使传感器市场成为了价值数十亿美元的产业。

在Nanusens的工艺中，使用HF蒸汽（vHF）在钝化层的焊盘（pad）开口区刻蚀出金属层间介电质（IMD），以获得纳米传感器的传感结构。然后将通孔密封，根据需要对芯片进行封装。

由于该公司传感器仅采用了标准的CMOS工艺，并且能够直接和所需要的有源电路集成，因此，其传感器能够获得和CMOS器件一样的高良率。